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半导体技术专区
晶圆尺寸的不断增大,深亚微米工艺的日益发展,各种新型解决方案的推出,这一切都给半导体技术赋予了新的内容。参与发言和讨论,与大家分享您的心得和体会。
 


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楼主      问题: 二极管酸洗
发布时间: 2005-5-12 下午3:04

作者: 歌海
等级: 初入江湖
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请问各位专家,二极管在酸洗时要使用的磷酸双氧水和水配,如何酸制?它的最佳温度为多少?化学反应的生成物是什么?

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第 1 楼      為什么要酸洗呢﹖
发布时间: 2005-5-17 下午1:55

作者: merry
等级: 白银大侠
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几天了我一直在關注這個問題﹐為什么非酸洗呢﹖我也希望友人回答﹗

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第 2 楼      2极管腐蚀温度吗?
发布时间: 2005-5-18 下午7:50

作者: 天若有情
等级: 初入江湖
积分: 104 分

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70度

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第 3 楼      腐蚀温度70
发布时间: 2005-5-18 下午7:51

作者: 天若有情
等级: 初入江湖
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腐蚀温度70

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第 4 楼      酸洗
发布时间: 2005-5-29 上午11:50

作者: yount
等级: 初入江湖
积分: 102 分

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二极管酸洗分两种情况:

一是对于OPEN JUNCTION的工艺,在晶圆扩散后切片成晶粒,晶粒的边缘是粗糙的,电性能不稳定,需要用混合酸(主要成分为氢氟酸)洗掉边缘,然后包以硅胶并封装成型。酸洗分几步完成,磷酸双氧水和水配是其中一步使用的溶液。

二是在GPP工艺中,有一种结构需要将玻璃包覆边缘的沟槽挖出,也要用到酸洗。
酸洗过程是比较敏感和专业的工艺过程,直接影响到二极管的品质,其中关键内容很多,不可能简单说清。

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第 5 楼      回复:二极管酸洗
发布时间: 2005-5-29 下午2:36

作者: 陆国华
等级: 初入江湖
积分: 106 分

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根据环境温度而定,夏天的温度在70度左右,冬季要高些,一般在85--90度。只有一顶的温度才能保证清洗效果及反应充分。不同见解可回复:yxdy660@yahoo.com.cn

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第 6 楼      ????
发布时间: 2005-8-28 下午8:10

作者: 森林木
等级: 初入江湖
积分: 113 分

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冬天的室温是多少?

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第 7 楼      High?
发布时间: 2006-1-16 上午8:36

作者: siliu
等级: 初入江湖
积分: 104 分

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温度这么高?要看酸的配比吧!

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第 8 楼      答:楼上
发布时间: 2006-2-10 下午4:30

作者: weekice
等级: 初入江湖
积分: 130 分

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用酸洗,可以比较容易和经济的得到圆滑的边缘,消除尖端放电。还有其他的优点,我忘了。。。。哈哈,有空聊聊
msn: weekice@citiz.net

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第 9 楼      冬天应该是25度吧
发布时间: 2006-3-11 上午11:03

作者: ⿰傲氣⿰蕫少
等级: 初入江湖
积分: 102 分

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那样腐蚀比较充分吧!~~

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第 10 楼      磷酸双氧水配比
发布时间: 2006-8-4 上午9:14

作者: archer1050
等级: 初入江湖
积分: 104 分

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现在行业内通用的比例是:磷酸:双氧水:水=1:1:5  温度控制:75±5度!
此溶液可以在硅片的界面生成一层氧化膜!
请教:其反应生成物有刺鼻气味,究竟为何种气体?

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第 11 楼      回复主题:磷酸双氧水配比
发布时间: 2006-9-20 下午11:45

作者: 如皋人
等级: 初入江湖
积分: 102 分

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嘿嘿,浓淡随意,只要不太离谱就可以了。各条线上的情况同志们可以通过对比试验自己选择,口味不同嘛!那个气味我猜是双氧水发出的,要不你直接闻闻双氧水的味道,最好同时随便放点什么东西里面,在它冒泡泡时,用手扇着试试...

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第 12 楼      回复主题:磷酸双氧水配比
发布时间: 2008-1-4 下午5:30

作者: WT-CAD
等级: 初入江湖
积分: 102 分

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各位高手,能否提供一些关于酸洗方面详细的资料.谢谢!

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第 13 楼      回复主题:二极管酸洗
发布时间: 2008-4-10 上午10:33

作者: XRW
等级: 初入江湖
积分: 108 分

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2#酸的温度重要还是配比重要

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第 14 楼      回复主题:二极管酸洗
发布时间: 2008-4-21 下午2:27

作者: 李轶手机13871251566
等级: 遁门入道
积分: 247 分

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GPP用混酸,一般温度在2度左右。各家的工艺都不同啦。O/J的又不一样了。

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